シリーズ |
ポンプ形式 |
排気速度(?/min) |
到達圧力(Pa) |
カタログ |
MDP-V |
スクリュー式ドライ真空ポンプ |
5500 to 22000 |
to 0.5 |
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【備考】省エネ仕様 |
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MDP |
スクリュー式ドライ真空ポンプ |
1100 to 35000 |
to 0.7 |
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SLT |
スクリュー式ドライ真空ポンプ |
1100 to 3000 |
to 0.7 |
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TRDS |
スクリュー式ドライ真空ポンプ |
to 35000 |
to 0.7 |
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【備考】メカニカルブースター裝備式 |