RIX多通道旋轉接頭/半導體行業用

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產品名稱: RIX多通道旋轉接頭/半導體行業用

產品型號: MS22系列

產品廠商: 巖瀨商事

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簡單介紹

RIX多通道旋轉接頭/半導體行業用 MS22系列，是專為半導體行業開發的，用于供應純水和化學溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉接頭。

RIX多通道旋轉接頭/半導體行業用 的詳細介紹

RIX多通道旋轉接頭/半導體行業用 MS22系列

規格：

適用流體：純水、空氣、真空
*大壓力：-0.095～0.6MPa
*大通路：5
*大轉速：800min-1
主要途徑與其特點：

在旋轉托盤的冷卻水IN/OUT用，晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加

應用端設備對象：精磨/粗磨、CMP裝置

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